我国集成电路核心设备国产化获重大进展

　　据报道，我国集成电路核心装备国产化获重大进展。中芯国际北京厂使用国产装备加工的12寸正式产品晶圆加工突破一千万片次，标志着集成电路国产设备在市场化大生产中得到充分验证，国产装备技术和市场竞争力迈上了一个新台阶。正是由于工艺制造的高精度和复杂度，芯片生产需要机械、电子、软件、控制、材料等多个学科的配合。集成电路生产线上刻蚀机、氧化机、薄膜、光刻、离子注入等装备，一直都由欧美日少数公司掌握。但从2008年至今，一些国产材料和大型装备正在逐步进入这条全国最先进的集成电路生产线。

　　专家介绍，随着集成电路国产装备在市场化大生产中得到充分验证，我国集成电路制造产业与国外最先进水平的差距缩短了最少五年。虽然目前设备国产化仍处于初期，需要投入大量人力、财力、物力，但随着国产设备大量投入使用，将使得我国芯片制造的设备采购成本降低25%左右。集成电路技术40多年来一直依照摩尔定律规律发展，即每隔18个月技术更新一代。每一代技术的更新可使芯片集成度提高1倍，电路性能提高40%。随着摩尔定律近年来逐渐逼近极限，设备国产化对提升我国集成电路行业竞争力将起到巨大作用。