日立发布新型电子显微镜Regulus系列

　　此次发布的机型包括作为SU8010的后续机型开发的Regulus8100和SU8200系列的升级Regulus8220 Regulus82 0 Regulus8240，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。

　　本次发布的新品牌Regulus系列电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。Regulus8220/82 0/8240达到0.9nm，Regulus8100为1.1 nm的分辨率。另外，最合适低加速电压下高分辨视察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。

　　除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。

　　主要特点：

　　搭载了色差极小的合适低加速电压高分辨率视察的冷场电子枪

　　跟前代机型相比分辨率大约提高了20%

　　(Regulus8220/82 0/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV)

　　最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1

　　用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来

　　点评

　　扫描电子显微镜被广泛应用于纳米技术，半导体、电子行业、生命科学材、料科学等领域的材料结构视察。日立高新技术以2020年成为电子显微镜行业全球第一为目标和中期经营战略，不断加强研发，相信今后日立高新技术将研发更先进的电镜产品，发展成为最先进、最前沿的事业创造企业。