日机装展出微型泵可同时供给液体气体贸易

日机装开发成功了不仅可以供给液体还可以供给气体的微型泵，并在“第16届微机械展”上展出。流量为1μl/分～50μl/分，可通过驱动频率控制流量。面向医疗用的分析装置。驱动电压为120V，耗电量为10μW。外形尺寸为22mm×16.5mm×4mm。目前已开始样品供应。

此次开发的微型泵的工作原理是：使用压电元件向上驱动隔膜来吸入液体或气体，反之通过向下驱动隔膜来排出液体或气体。隔膜为单晶硅材料，周边覆盖玻璃底板，在隔膜上方设计有压电元件。该公司使用了MEMS技术来加工微型泵。此次通过加大向下驱动隔膜时施加的压力，实现了气体的排出，压力最大为 0kPa。该公司原来的产品中，这一压力较小，即便给气体加压，气体也不会因压缩而排出。此次通过细化液体和气体的流路，提高了隔膜驱动所产生的压力。

此外，此次的微型泵可以两个联动使用。这样，通过隔膜驱动的联动，就可以减小液体或气体流量的变化即脉流现象。