密西根大学通过串联18个气体微泵增强压力

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　　美国密西根大学（UniversityofMichigan）无线集成微系统中心（CenterforWirelessIntegratedMicroSystems，WIMS）试制了由18个气体用微泵串联而成的MEMS元件，并在“MEMS2007”上发表了该元件的概要（1月24日的Sessions9）。

　　SiMEMS技术制造的气体用微泵能够广泛应用于环境探测器、生物信息探测器、气体传感器、呼气传感器、微型燃料电池单元等领域。WIMS现在正在利用微泵，开发超小型气相色谱仪。但是，由于现有微泵的流量和压力较低，无法达到气相色谱要求的标准。

　　因此，WIMS采用了将多个微泵直列串联，通过微阀和泵的联动工作提高压力的方式。泵和阀采用有机高分子聚对二甲苯（Parylene）薄膜制造，利用静电力驱动。WIMS分别试制了2级、4级、18级串联泵，并对工作性能进行了测定。测定的*大压力分别为2.5kPa、7.0kPa、17.5kPa，*大流量分别为2.1sccm、 .0sccm、4.0sccm。

　　18级串联泵的尺寸为25.1mm×19.1mm×1mm。耗电量为57mW。驱动电压为±100V。驱动频率为17kHz。