将主要用于平板终端

清洗/清理设备2020年01月20日

IGZO是由铟（In）、镓（Ga）、锌（Zn）和氧（O）构成的氧化物半导体In-Ga-Zn-O的简称。夏普于2012年4月在业界率先开始全面量产采用IGZO TFT（以IGZO为基础的TFT）的液晶面板。将主要用于平板终端，供应对象被认为是美国苹果公司的“iPad”。夏普计划今后将IGZO TFT液晶面板用于笔记本电脑和显示器。这是一项可让夏普复兴液晶面板业务的技术。

IGZO的最大特点是载流子迁移率在10cm2/Vs以上，比现有的TFT材料非晶硅高出10倍以上。结果，IGZO能够以低功耗驱动高精细面板。另外，IGZO还具有透明性、可在柔性基板上低温成膜等硅所没有的特点。因此，IGZO在有机EL面板和电子纸领域也备受关注。

东京工业大学教授细野秀雄的团队发现了IGZO TFT的上述潜力，并且自始至终在研发方面处于领先地位。该团队在1996年证实IGZO TFT可实现超过10cm2/Vs的高水平载流子迁移率，2004年在柔性基板上制作出了IGZO TFT。

这些成果成为日本国内外企业着手开发IGZO TFT的契机。佳能、韩国LG电子、韩国三星电子和凸版印刷等企业，从2005年前后着手IGZO TFT的开发工作。最初大多用于不到10英寸的小型面板，而近来达到实用化水平的成果逐渐增加，比如2010年三星开发出了70英寸的液晶面板。夏普一直与日本半导体能源研究所共同推进IGZOTFT的开发，但此前并未积极地发布开发成果。

此次夏普开始量产IGZO TFT液晶面板后，今后估计韩国和台湾厂商也会相继量产。其中，三星已在2011年7月就针对细野等人的研究成果为基础的IGZO TFT技术专利群，从日本科学技术振兴机构（JST）获得了授权，由此可以看出三星量产IGZO TFT液晶面板的姿态。（记者：大下淳一，《日经电子》）
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